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材料可靠性、失效分析 涂鍍層測厚儀

  • 日立FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀 詳細說明

1.即放即測! 2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量! 3.可無標樣測量! 4.通過樣品整體圖像更方便選擇測量位置!

1. 通過自動定位功能提高操作性

測量樣品時,以往需花費約10秒的樣品對焦,現在3秒內即可完成,大大提高樣品定位的操作性。

2. 微區膜厚測量精度提高

通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。

3. 多達5層的多鍍層測量

使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。

4. 廣域觀察系統(選配)

可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。

5. 對應大型印刷線路板(選配)

可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。

6. 低價位

與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。

型號

FT110A

測量元素

原子序號Ti(22)~Bi(83)

X射線源

空冷式小型X射線管
管電壓:50(可變更)kV
管電流:10~1000μA

檢測器

比例計數管

準直器

○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種

樣品觀察

CCD攝像頭

對焦

激光對焦(自動)

濾波器

一次濾波器(自動切換)

樣品區域

[固定]535×530 mm
[電動] 260×210 mm (移動量X:250 mm, Y:200 mm)

測量軟件

薄膜FP法(最大2層、10種元素)、檢量線法

安全功能

樣品室門聯鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能

選購項

· 圖像處理軟件

· 塊體FP軟件(材料組成分析)

· 塊體檢量線軟件(電鍍液分析)

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